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少子壽命測試儀(MDP)
MDpicts pro 原位變溫缺陷能級表征系統
MDpicts pro高分辨率變溫少子壽命測試儀

產品簡介
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MDpicts pro高分辨率變溫少子壽命測試儀
用于生產和研究實驗室應用的MDpicts pro(高分辨率變溫少子壽命測試儀系統)。全自動設備,以非接觸、無破壞方式繪制材料的電輸運特性。一般來說,MDpicts pro系統能夠適用于各種不同材料和制備階段的測量,范圍從硅原料、裸晶圓到不同的制備階段,再到HgCdTe、CZT、InSb、HgCdSe、CdTe、GaAs、InP等化合物半導體,可以研究電阻率高于0.3 Ω cm的單晶硅和多晶硅。重點是缺陷再發射、少數載流子壽命以及光電導率的溫度相關測量。研究污染物和電活性晶體缺陷。
MDpicts pro高分辨率變溫少子壽命測試儀材料:
MDpicts pro 能夠對幾乎所有半導體進行電學表征
碲鎘汞|碳化硅 | 化合物半導體 | 氧化物 | 寬帶隙材料 | 鈣鈦礦| 外延層
[ HgCdTe | SiC | InP | ZnS | CdTe | GaAs | GaN | Ge ] and more
重點優勢:
1)從窄禁帶材料到寬禁帶材料的全覆蓋測試
2)實現材料缺陷的根本原因分析:無損、靈活且精確
3)空間分辨率高
4)同時具備瞬態μPCD和穩態MDP測量
5)可定制激光與光學集成方案,適配各類材料需求
6)原位新型低溫恒溫測試系統,
7)支持4英寸樣品測試
技術規格:

應用案例:

光束誘導電流(LBIC)
該過程基于對太陽能電池中局部電流(Isc)的測量,該電流通過激光誘導的方式產生
微波探測光致電流瞬態譜(MD-PICTS)
為研究半導體中的缺陷,溫度依賴型方法(類似深能級瞬態譜(DLTS))已被廣泛應用。
磷化銦(InP)中缺陷能級的研究
微波探測光致電流瞬態譜(MD-PICTS)是研究磷化銦(InP)中缺陷能級的理想方法。例如,對磷化銦的研究表明,退火過程中材料的缺陷含量會發生變化……
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